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        質量流量控制器的工作原理特征介紹

        發布時間:2019-05-10 08:59:43   來源:    瀏覽次數:
          質量流量控制器可以用于控制各種清潔干燥氣體,包括腐蝕性氣體和特殊氣體,但對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體,需要恰當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時,需要向供貨廠商特殊說明使用氣體,以免因為選型或選擇密封材料錯誤,造成嚴重損失。通常質量流量控制器接觸工作氣體的材質為316L不銹鋼、密封材質分為金屬焊接,聚四氟乙烯和普通氟橡膠。質量流量控制器采用金屬焊接密封的MFC原則上可以用于任何氣體,包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議最好采用金屬焊接密封的MFC。
         
          質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥門和放大控制器等部分組成。質量流量控制器傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源,數字電壓表, 設定電位器, 外設、內設轉換和三位閥控開關等。
         
          質量流量控制器是利用熱傳導原理測量流體流量的儀表,質量流量控制器采用恒溫差法對氣體質量流量進行準確測量。質量流量控制器具有體積小,數字化程度高,安裝方便,測量準確等優點。質量流量控制器可用于玻璃、太陽能、大氣監測、工業制作、煤炭冶金、制氣配氣、環保等各種工業企業的氣體管路分配控制、烴類氣體、可燃性氣體、煙道氣等氣體的質量流量或實際工況的體積流量測量和監控。
         
            質量流量器設備體積小巧,安裝方便,操作簡單,測量精準,微小的流量也能精準測量。質量流量器可以精準地控制氣體的給定量,多很多工藝流程中各個環節過程可能有不同的流量,對不同的氣體也能準確的控制。
         

         


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